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描述:ROT-OS09 # 工位九、薄膜測(cè)厚工位通過搭建薄膜測(cè)厚的光路,跟隨流程,了解如何從大量的數(shù)據(jù)中,去除干擾,得到所需要測(cè)量的關(guān)鍵值的方法。
ROT-OS09 # 工位九、薄膜測(cè)厚工位簡(jiǎn)介
在薄膜材料、玻璃制造等多個(gè)行業(yè)里,薄膜的在線測(cè)量不可少。薄膜測(cè)厚是光電技術(shù)中‘算法密集型’的應(yīng)用,應(yīng)用了光譜預(yù)處理方法、回歸算法和傅立葉變換信號(hào)處理等處理方法。學(xué)生在此工位中通過搭建薄膜測(cè)厚的光路,跟隨流程,了解如何從大量的數(shù)據(jù)中,去除干擾,得到所需要測(cè)量的關(guān)鍵值的方法。
ROT-OS09 # 工位九、薄膜測(cè)厚工位實(shí)訓(xùn)內(nèi)容
學(xué)習(xí)和掌握白光干涉測(cè)定薄膜厚度的基本原理;
使用擬合算法測(cè)量單層MgF2增透膜和鍍膜硅片的膜厚;
使用快速傅立葉變換算法測(cè)量PET薄膜的厚度;
自建薄膜樣品的測(cè)量方法。
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